خشک اینچنگ میں عام طور پر استعمال ہونے والی اینچنگ گیسیں کیا ہیں؟

خشک اینچنگ ٹکنالوجی کلیدی عمل میں سے ایک ہے۔ خشک اینچنگ گیس سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم مواد ہے اور پلازما اینچنگ کے لئے گیس کا ایک اہم ذریعہ ہے۔ اس کی کارکردگی حتمی مصنوع کے معیار اور کارکردگی کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔ اس مضمون میں بنیادی طور پر یہ بتایا گیا ہے کہ خشک اینچنگ کے عمل میں عام طور پر استعمال ہونے والی اینچنگ گیسیں کیا ہیں۔

فلورین پر مبنی گیسیں: جیسےکاربن ٹیٹرا فلورائڈ (سی ایف 4)، ہیکسافلوورویتھین (C2F6) ، ٹرائفلوورومیٹین (CHF3) اور پرفلووروپروپن (C3F8)۔ جب سلیکن اور سلیکن مرکبات کو اینچ کرتے ہو تو یہ گیسیں مؤثر طریقے سے اتار چڑھاؤ فلورائڈس پیدا کرسکتی ہیں ، اس طرح مادی ہٹانے کو حاصل ہوتی ہیں۔

کلورین پر مبنی گیسیں: جیسے کلورین (سی ایل 2) ،بورن ٹرائکلورائڈ (بی سی ایل 3)اور سلیکن ٹیٹراکلورائڈ (SICL4)۔ کلورین پر مبنی گیسیں اینچنگ کے عمل کے دوران کلورائد آئنوں کو مہیا کرسکتی ہیں ، جو اینچنگ کی شرح اور انتخابی صلاحیت کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے۔

برومین پر مبنی گیسیں: جیسے برومین (بی آر 2) اور برومین آئوڈائڈ (آئی بی آر)۔ برومین پر مبنی گیسیں کچھ اینچنگ کے عمل میں بہتر اینچنگ کی کارکردگی فراہم کرسکتی ہیں ، خاص طور پر جب سلیکن کاربائڈ جیسے سخت مواد کو نکالیں۔

نائٹروجن پر مبنی اور آکسیجن پر مبنی گیسیں: جیسے نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3) اور آکسیجن (O2)۔ یہ گیسیں عام طور پر اینچنگ کے عمل میں رد عمل کے حالات کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے استعمال ہوتی ہیں تاکہ اینچنگ کی انتخابی اور سمت کو بہتر بنایا جاسکے۔

یہ گیسیں پلازما اینچنگ کے دوران جسمانی پھیلنے اور کیمیائی رد عمل کے امتزاج کے ذریعہ مادی سطح کی عین مطابق اینچنگ حاصل کرتی ہیں۔ اینچنگ گیس کا انتخاب اس قسم کے مواد کی قسم ، اینچنگ کی انتخابی تقاضوں ، اور مطلوبہ اینچنگ ریٹ پر منحصر ہے۔