خشک اینچنگ میں عام طور پر استعمال ہونے والی اینچنگ گیسیں کون سی ہیں؟

خشک اینچنگ ٹیکنالوجی کلیدی عملوں میں سے ایک ہے۔ خشک اینچنگ گیس سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم مواد ہے اور پلازما اینچنگ کے لیے گیس کا ایک اہم ذریعہ ہے۔ اس کی کارکردگی حتمی مصنوعات کے معیار اور کارکردگی کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔ یہ مضمون بنیادی طور پر اس بات کا اشتراک کرتا ہے کہ خشک اینچنگ کے عمل میں عام طور پر استعمال ہونے والی اینچنگ گیسیں کیا ہیں۔

فلورین پر مبنی گیسیں: جیسےکاربن ٹیٹرا فلورائیڈ (CF4)، hexafluoroethane (C2F6)، trifluoromethane (CHF3) اور perfluoropropane (C3F8)۔ یہ گیسیں سلکان اور سلکان مرکبات کو اینچ کرتے وقت مؤثر طریقے سے غیر مستحکم فلورائڈز پیدا کرسکتی ہیں، اس طرح مواد کو ہٹانے کا عمل حاصل ہوتا ہے۔

کلورین پر مبنی گیسیں: جیسے کلورین (Cl2)،بوران ٹرائکلورائیڈ (BCl3)اور سلکان ٹیٹرا کلورائیڈ (SiCl4)۔ کلورین پر مبنی گیسیں اینچنگ کے عمل کے دوران کلورائیڈ آئن فراہم کرسکتی ہیں، جو اینچنگ کی شرح اور سلیکٹیوٹی کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے۔

برومین پر مبنی گیسیں: جیسے برومین (Br2) اور برومین آئوڈائڈ (IBr)۔ برومین پر مبنی گیسیں کچھ اینچنگ کے عمل میں اینچنگ کی بہتر کارکردگی فراہم کر سکتی ہیں، خاص طور پر جب سخت مواد جیسے کہ سلکان کاربائیڈ کو اینچنگ کرتے ہیں۔

نائٹروجن پر مبنی اور آکسیجن پر مبنی گیسیں: جیسے نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ (NF3) اور آکسیجن (O2)۔ یہ گیسیں عام طور پر اینچنگ کے عمل میں رد عمل کے حالات کو ایڈجسٹ کرنے کے لیے استعمال ہوتی ہیں تاکہ اینچنگ کی سلیکٹیوٹی اور سمت کو بہتر بنایا جا سکے۔

یہ گیسیں پلازما اینچنگ کے دوران فزیکل سپٹرنگ اور کیمیائی رد عمل کے امتزاج کے ذریعے مادی سطح کی قطعی اینچنگ حاصل کرتی ہیں۔ اینچنگ گیس کا انتخاب اس بات پر منحصر ہے کہ کندہ کاری کے لیے مواد کی قسم، اینچنگ کی سلیکٹیوٹی ضروریات، اور مطلوبہ اینچنگ کی شرح۔