Tungsten hexafluoride (WF6) کو CVD کے عمل کے ذریعے ویفر کی سطح پر جمع کیا جاتا ہے، دھات کے باہمی ربط کی خندقوں کو بھر کر، اور تہوں کے درمیان دھات کا باہمی ربط پیدا ہوتا ہے۔
آئیے پہلے پلازما کے بارے میں بات کرتے ہیں۔ پلازما مادے کی ایک شکل ہے جو بنیادی طور پر مفت الیکٹرانوں اور چارج شدہ آئنوں پر مشتمل ہے۔ یہ کائنات میں وسیع پیمانے پر موجود ہے اور اسے اکثر مادے کی چوتھی حالت کے طور پر سمجھا جاتا ہے۔ اسے پلازما سٹیٹ کہا جاتا ہے جسے "پلازما" بھی کہا جاتا ہے۔ پلازما اعلی برقی چالکتا ہے اور برقی مقناطیسی میدان کے ساتھ مضبوط جوڑے کا اثر رکھتا ہے۔ یہ جزوی طور پر آئنائزڈ گیس ہے جو الیکٹران، آئنز، فری ریڈیکلز، نیوٹرل پارٹیکلز اور فوٹون پر مشتمل ہے۔ پلازما خود ایک برقی طور پر غیر جانبدار مرکب ہے جس میں جسمانی اور کیمیائی طور پر فعال ذرات ہوتے ہیں۔
سیدھی سی وضاحت یہ ہے کہ اعلی توانائی کے عمل کے تحت مالیکیول وین ڈیر والز فورس، کیمیکل بانڈ فورس اور کولمب فورس پر قابو پا لے گا اور مجموعی طور پر غیر جانبدار بجلی کی ایک شکل پیش کرے گا۔ ایک ہی وقت میں، باہر کی طرف سے فراہم کی گئی اعلی توانائی مندرجہ بالا تین قوتوں پر قابو پاتی ہے۔ فنکشن، الیکٹران اور آئن ایک آزاد حالت پیش کرتے ہیں، جسے مصنوعی طور پر مقناطیسی فیلڈ کی ماڈیولیشن کے تحت استعمال کیا جا سکتا ہے، جیسے سیمی کنڈکٹر ایچنگ کا عمل، CVD عمل، PVD اور IMP عمل۔
اعلی توانائی کیا ہے؟ نظریہ میں، دونوں اعلی درجہ حرارت اور اعلی تعدد RF استعمال کیا جا سکتا ہے. عام طور پر، اعلی درجہ حرارت حاصل کرنا تقریبا ناممکن ہے. درجہ حرارت کی یہ ضرورت بہت زیادہ ہے اور سورج کے درجہ حرارت کے قریب ہو سکتی ہے۔ اس عمل میں حاصل کرنا بنیادی طور پر ناممکن ہے۔ لہذا، صنعت عام طور پر اسے حاصل کرنے کے لئے اعلی تعدد RF استعمال کرتا ہے. پلازما RF زیادہ سے زیادہ 13MHz+ تک پہنچ سکتا ہے۔
ٹنگسٹن ہیکسا فلورائڈ کو برقی میدان کے عمل کے تحت پلازماائز کیا جاتا ہے، اور پھر مقناطیسی میدان کے ذریعہ بخارات جمع کیا جاتا ہے۔ ڈبلیو ایٹم موسم سرما کے ہنس کے پنکھوں کی طرح ہوتے ہیں اور کشش ثقل کے عمل کے تحت زمین پر گرتے ہیں۔ آہستہ آہستہ، ڈبلیو ایٹموں کو سوراخوں کے ذریعے جمع کیا جاتا ہے، اور آخر میں سوراخوں کے ذریعے مکمل بھر کر دھاتی کے باہمی ربط کی شکل اختیار کر لیتے ہیں۔ سوراخوں کے ذریعے ڈبلیو ایٹموں کو جمع کرنے کے علاوہ، کیا وہ ویفر کی سطح پر بھی جمع ہوں گے؟ ہاں، ضرور۔ عام طور پر، آپ W-CMP عمل استعمال کر سکتے ہیں، جسے ہم مکینیکل پیسنے کا عمل کہتے ہیں۔ یہ بہت زیادہ برف باری کے بعد فرش کو صاف کرنے کے لیے جھاڑو کے استعمال کے مترادف ہے۔ زمین پر موجود برف بہہ جاتی ہے لیکن زمین کے سوراخ میں موجود برف باقی رہے گی۔ نیچے، تقریباً ایک جیسا۔
پوسٹ ٹائم: دسمبر-24-2021
