سب سے زیادہ استعمال ہونے والی الیکٹرانک خصوصی گیس - نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ

عام فلورین پر مشتمل خصوصی الیکٹرانک گیسیں شامل ہیں۔سلفر ہیکسا فلورائیڈ (SF6)ٹنگسٹن ہیکسا فلورائیڈ (WF6)،کاربن ٹیٹرا فلورائڈ (CF4)، trifluoromethane (CHF3)، نائٹروجن trifluoride (NF3)، hexafluoroethane (C2F6) اور octafluoropropane (C3F8)۔

نینو ٹیکنالوجی کی ترقی اور الیکٹرانکس کی صنعت کی بڑے پیمانے پر ترقی کے ساتھ، اس کی مانگ میں روز بروز اضافہ ہوتا جائے گا۔ نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ، پینلز اور سیمی کنڈکٹرز کی تیاری اور پروسیسنگ میں ایک ناگزیر اور سب سے زیادہ استعمال ہونے والی خصوصی الیکٹرانک گیس کے طور پر، مارکیٹ کی ایک وسیع جگہ ہے۔

فلورین پر مشتمل خصوصی گیس کی ایک قسم کے طور پر،نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ (NF3)سب سے بڑی مارکیٹ کی گنجائش کے ساتھ الیکٹرانک اسپیشل گیس پروڈکٹ ہے۔ یہ کمرے کے درجہ حرارت پر کیمیائی طور پر غیر فعال، اعلی درجہ حرارت پر آکسیجن سے زیادہ فعال، فلورین سے زیادہ مستحکم، اور سنبھالنے میں آسان ہے۔ نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ بنیادی طور پر پلازما اینچنگ گیس اور ری ایکشن چیمبر کلیننگ ایجنٹ کے طور پر استعمال ہوتا ہے، اور یہ سیمی کنڈکٹر چپس، فلیٹ پینل ڈسپلے، آپٹیکل فائبرز، فوٹو وولٹک سیلز وغیرہ کے مینوفیکچرنگ فیلڈز کے لیے موزوں ہے۔

دیگر فلورین پر مشتمل الیکٹرانک گیسوں کے مقابلے میں،نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈتیز ردعمل اور اعلی کارکردگی کے فوائد ہیں. خاص طور پر سلیکون پر مشتمل مواد جیسے کہ سلکان نائٹرائڈ کی اینچنگ میں، اس میں اینچنگ کی شرح اور سلیکٹیوٹی زیادہ ہوتی ہے، جس سے کھدائی ہوئی چیز کی سطح پر کوئی باقیات نہیں رہ جاتی ہیں۔ یہ ایک بہت اچھا صفائی ایجنٹ بھی ہے اور اس کی سطح پر کوئی آلودگی نہیں ہے، جو پروسیسنگ کے عمل کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے۔