سب سے زیادہ استعمال شدہ الیکٹرانک خصوصی گیس - نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ

عام فلورین پر مشتمل خصوصی الیکٹرانک گیسوں میں شامل ہیںسلفر ہیکسفلوورائڈ (SF6)، ٹنگسٹن ہیکسفلوورائڈ (WF6) ،کاربن ٹیٹرا فلورائڈ (سی ایف 4)، ٹریفلوورومیٹین (CHF3) ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3) ، ہیکسفلوورویتھین (C2F6) اور آکٹافلووروپروپن (C3F8)۔

نینو ٹکنالوجی کی ترقی اور الیکٹرانکس انڈسٹری کی بڑے پیمانے پر ترقی کے ساتھ ، اس کی طلب میں دن بدن اضافہ ہوگا۔ نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ ، پینل اور سیمیکمڈکٹرز کی پیداوار اور پروسیسنگ میں ایک ناگزیر اور سب سے بڑی استعمال شدہ خصوصی الیکٹرانک گیس کے طور پر ، مارکیٹ کی ایک وسیع جگہ ہے۔

فلورین پر مشتمل خصوصی گیس کی ایک قسم کے طور پر ،نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3)سب سے بڑی مارکیٹ کی گنجائش والا الیکٹرانک خصوصی گیس پروڈکٹ ہے۔ یہ کمرے کے درجہ حرارت پر کیمیائی طور پر جڑ ہے ، اعلی درجہ حرارت پر آکسیجن سے زیادہ فعال ، فلورین سے زیادہ مستحکم ، اور ہینڈل کرنے میں آسان ہے۔ نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ بنیادی طور پر پلازما اینچنگ گیس اور ایک ری ایکشن چیمبر صفائی ایجنٹ کے طور پر استعمال ہوتا ہے ، اور یہ سیمیکمڈکٹر چپس ، فلیٹ پینل ڈسپلے ، آپٹیکل ریشوں ، فوٹو وولٹک خلیوں وغیرہ کے مینوفیکچرنگ فیلڈ کے لئے موزوں ہے۔

دیگر فلورین پر مشتمل الیکٹرانک گیسوں کے مقابلے میں ،نائٹروجن ٹرائفلوورائڈتیز رد عمل اور اعلی کارکردگی کے فوائد ہیں۔ خاص طور پر سلیکن پر مشتمل مواد جیسے سلیکن نائٹرائڈ کی کھجلی میں ، اس میں اونچی اونچی شرح اور انتخابی صلاحیت ہوتی ہے ، جس سے اینچڈ شے کی سطح پر کوئی باقیات نہیں رہتی ہیں۔ یہ صفائی کا ایک بہت اچھا ایجنٹ بھی ہے اور اس کی سطح پر کوئی آلودگی نہیں ہے ، جو پروسیسنگ کے عمل کی ضروریات کو پورا کرسکتی ہے۔