ہمارے ملک کی سیمیکمڈکٹر انڈسٹری اور پینل انڈسٹری اعلی سطح پر خوشحالی برقرار رکھتی ہے۔ نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ ، پینل اور سیمیکمڈکٹرز کی پیداوار اور پروسیسنگ میں ایک ناگزیر اور سب سے بڑی حجم خصوصی الیکٹرانک گیس کے طور پر ، مارکیٹ کی ایک وسیع جگہ ہے۔
عام طور پر استعمال ہونے والی فلورین پر مشتمل خصوصی الیکٹرانک گیسوں میں شامل ہیںسلفر ہیکسفلوورائڈ (SF6)، ٹنگسٹن ہیکسفلوورائڈ (WF6) ،کاربن ٹیٹرا فلورائڈ (سی ایف 4)، ٹریفلوورومیٹین (CHF3) ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3) ، ہیکسفلوورویتھین (C2F6) اور آکٹافلووروپروپن (C3F8)۔ نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3) بنیادی طور پر ہائیڈروجن فلورائڈ فلورائڈ گیس اعلی توانائی کے کیمیائی لیزرز کے لئے فلورین ماخذ کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ H2-O2 اور F2 کے مابین رد عمل کی توانائی کا موثر حصہ (تقریبا 25 25 ٪) لیزر تابکاری کے ذریعہ جاری کیا جاسکتا ہے ، لہذا HF آف لیزرز کیمیائی لیزرز میں سب سے زیادہ امید افزا لیزر ہیں۔
مائکرو الیکٹرانکس انڈسٹری میں نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ ایک بہترین پلازما اینچنگ گیس ہے۔ سلیکن اور سلیکن نائٹریڈ کو اینچنگ کرنے کے لئے ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ میں کاربن ٹیٹرافلوورائڈ اور کاربن ٹیٹرا فلورائڈ اور آکسیجن کا مرکب سے زیادہ اینچنگ ریٹ اور سلیکٹیویٹی ہے ، اور اس کی سطح پر کوئی آلودگی نہیں ہے۔ خاص طور پر 1.5um سے کم موٹائی کے ساتھ مربوط سرکٹ مواد کی کھجلی میں ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ میں ایک بہت ہی عمدہ اینچنگ ریٹ اور سلیکٹیویٹی ہوتی ہے ، جس سے اینچڈ آبجیکٹ کی سطح پر کوئی باقی نہیں رہ جاتا ہے ، اور یہ ایک بہت اچھا صفائی کا ایجنٹ بھی ہے۔ نینو ٹکنالوجی کی ترقی اور الیکٹرانکس انڈسٹری کی بڑے پیمانے پر ترقی کے ساتھ ، اس کی طلب میں دن بدن اضافہ ہوگا۔
فلورین پر مشتمل خصوصی گیس کی ایک قسم کے طور پر ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ (NF3) مارکیٹ میں سب سے بڑا الیکٹرانک خصوصی گیس مصنوعات ہے۔ یہ کمرے کے درجہ حرارت پر کیمیائی طور پر جڑ ہے ، آکسیجن سے زیادہ فعال ، فلورین سے زیادہ مستحکم ، اور اعلی درجہ حرارت پر ہینڈل کرنے میں آسان ہے۔
نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ بنیادی طور پر پلازما اینچنگ گیس اور ری ایکشن چیمبر کی صفائی کے ایجنٹ کے طور پر استعمال ہوتا ہے ، جو سیمیکمڈکٹر چپس ، فلیٹ پینل ڈسپلے ، آپٹیکل ریشوں ، فوٹو وولٹائک خلیات وغیرہ جیسے مینوفیکچرنگ فیلڈز کے لئے موزوں ہے۔
دیگر فلورین پر مشتمل الیکٹرانک گیسوں کے مقابلے میں ، نائٹروجن ٹرائفلوورائڈ کے تیز رفتار رد عمل اور اعلی کارکردگی کے فوائد ہیں ، خاص طور پر سلیکن پر مشتمل مواد جیسے سلیکن نائٹرائڈ کی کھڑا ہونے میں ، اس کی نشوونما کی شرح اور انتخاب کی ایک اعلی چیز ہے ، اور یہ بھی اچھ .ی چیز کی سطح پر کوئی باقی نہیں ہے ، اور یہ بھی ہے اور یہ بھی ہے اور یہ بھی نہیں ہے ، اور یہ بھی ہے۔ پروسیسنگ کے عمل کی ضروریات۔
پوسٹ ٹائم: DEC-26-2024
