الیکٹرانک اسپیشل گیس کی سب سے بڑی مقدار - نائٹروجن ٹرائفلورائیڈ NF3

ہمارے ملک کی سیمی کنڈکٹر انڈسٹری اور پینل انڈسٹری اعلیٰ سطح کی خوشحالی کو برقرار رکھتی ہے۔ نائٹروجن ٹرائفلورائیڈ، پینلز اور سیمی کنڈکٹرز کی تیاری اور پروسیسنگ میں ایک ناگزیر اور سب سے بڑے حجم والی خصوصی الیکٹرانک گیس کے طور پر، مارکیٹ کی ایک وسیع جگہ ہے۔

عام طور پر استعمال ہونے والی فلورین پر مشتمل خصوصی الیکٹرانک گیسیں شامل ہیں۔سلفر ہیکسا فلورائیڈ (SF6)ٹنگسٹن ہیکسا فلورائیڈ (WF6)،کاربن ٹیٹرا فلورائیڈ (CF4)، trifluoromethane (CHF3)، نائٹروجن trifluoride (NF3)، hexafluoroethane (C2F6) اور octafluoropropane (C3F8)۔ نائٹروجن ٹرائفلورائیڈ (NF3) بنیادی طور پر ہائیڈروجن فلورائیڈ-فلورائیڈ گیس ہائی انرجی کیمیکل لیزرز کے لیے فلورین ماخذ کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ H2-O2 اور F2 کے درمیان رد عمل کی توانائی کا مؤثر حصہ (تقریباً 25%) لیزر ریڈی ایشن کے ذریعے جاری کیا جا سکتا ہے، اس لیے HF-OF لیزر کیمیائی لیزرز میں سب سے زیادہ امید افزا لیزر ہیں۔

نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ مائیکرو الیکٹرانکس کی صنعت میں ایک بہترین پلازما اینچنگ گیس ہے۔ سلکان اور سلکان نائٹرائڈ کو اینچ کرنے کے لیے، نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ میں کاربن ٹیٹرافلوورائیڈ اور کاربن ٹیٹرافلوورائیڈ اور آکسیجن کے مرکب سے زیادہ ایچنگ کی شرح اور سلیکٹیوٹی ہے، اور اس کی سطح پر کوئی آلودگی نہیں ہے۔ خاص طور پر 1.5um سے کم موٹائی والے انٹیگریٹڈ سرکٹ میٹریل کی اینچنگ میں، نائٹروجن ٹرائفلورائیڈ کی اینچنگ کی بہت ہی عمدہ شرح اور سلیکٹیوٹی ہوتی ہے، جس سے کھدائی ہوئی چیز کی سطح پر کوئی باقیات باقی نہیں رہتی ہیں، اور یہ ایک بہت اچھا صفائی کرنے والا ایجنٹ بھی ہے۔ نینو ٹیکنالوجی کی ترقی اور الیکٹرانکس کی صنعت کی بڑے پیمانے پر ترقی کے ساتھ، اس کی مانگ میں روز بروز اضافہ ہوتا جائے گا۔

فلورین پر مشتمل خصوصی گیس کی ایک قسم کے طور پر، نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ (NF3) مارکیٹ میں سب سے بڑی الیکٹرانک خصوصی گیس کی مصنوعات ہے۔ یہ کمرے کے درجہ حرارت پر کیمیائی طور پر غیر فعال، آکسیجن سے زیادہ فعال، فلورین سے زیادہ مستحکم، اور اعلی درجہ حرارت پر ہینڈل کرنے میں آسان ہے۔

نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ بنیادی طور پر پلازما اینچنگ گیس اور ری ایکشن چیمبر کلیننگ ایجنٹ کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر چپس، فلیٹ پینل ڈسپلے، آپٹیکل فائبرز، فوٹوولٹک سیلز وغیرہ جیسے مینوفیکچرنگ فیلڈز کے لیے موزوں ہے۔

دیگر فلورین پر مشتمل الیکٹرانک گیسوں کے مقابلے میں، نائٹروجن ٹرائفلورائیڈ میں تیز رفتار رد عمل اور اعلی کارکردگی کے فوائد ہیں، خاص طور پر سلیکون پر مشتمل مواد جیسے کہ سلیکان نائٹرائڈ کی اینچنگ میں، اس میں اینچنگ کی اعلی شرح اور سلیکٹیوٹی ہے، جس سے کھدائی ہوئی چیز کی سطح پر کوئی باقیات باقی نہیں رہتی ہیں، اور یہ ایک اچھی سطح کو صاف کرنے کے لیے بھی بہت اچھا ہے۔ پروسیسنگ کے عمل کی ضروریات کو پورا کر سکتے ہیں.