epitaxial (نمو)مخلوط جی اےs

سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں ، احتیاط سے منتخب کردہ سبسٹریٹ پر کیمیائی بخارات جمع کرنے کے ذریعہ مادے کی ایک یا زیادہ پرتوں کو اگانے کے لئے استعمال ہونے والی گیس کو ایپیٹیکسیل گیس کہا جاتا ہے۔

عام طور پر استعمال ہونے والی سلیکن ایپیٹیکسیل گیسوں میں ڈیکلوروسیلین ، سلیکن ٹیٹراکلورائڈ اور شامل ہیںسلین. بنیادی طور پر ایپیٹاکسیل سلیکن جمع ، سلیکن آکسائڈ فلم جمع ، سلیکن نائٹرائڈ فلم جمع ، شمسی خلیوں اور دیگر فوٹوورسیپٹرز وغیرہ کے لئے امورفوس سلیکن فلم جمع کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ ایپیٹیکسی ایک ایسا عمل ہے جس میں ایک ہی کرسٹل مواد جمع ہوتا ہے اور سبسٹریٹ کی سطح پر اگتا ہے۔

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) مخلوط گیس

سی وی ڈی گیس فیز کیمیکل رد عمل کا استعمال کرتے ہوئے گیس فیز کیمیائی رد عمل کا استعمال کرتے ہوئے کچھ عناصر اور مرکبات جمع کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ فلم کی تشکیل کی قسم پر منحصر ہے ، استعمال شدہ کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) گیس بھی مختلف ہے۔

ڈوپنگمخلوط گیس

سیمیکمڈکٹر ڈیوائسز اور مربوط سرکٹس کی تیاری میں ، کچھ نجاستوں کو سیمیکمڈکٹر مواد میں ڈوپ کیا جاتا ہے تاکہ مواد کو مطلوبہ چالکتا کی قسم اور تیار کرنے والے مزاحم کاروں ، پی این جنکشن ، دفن پرتوں وغیرہ کے لئے ایک خاص مزاحمتی صلاحیت دی جاسکے۔ ڈوپنگ کے عمل میں استعمال ہونے والی گیس کو ڈوپنگ گیس کہا جاتا ہے۔

بنیادی طور پر ارسائن ، فاسفین ، فاسفورس ٹرائفلوورائڈ ، فاسفورس پینٹا فلوورائڈ ، آرسنک ٹرائفلوورائڈ ، آرسنک پینٹا فلورائڈ ،بورن ٹرائفلوورائڈ، ڈیبورین ، وغیرہ۔

عام طور پر ، ڈوپنگ ماخذ کو ذریعہ کابینہ میں کیریئر گیس (جیسے ارگون اور نائٹروجن) کے ساتھ ملایا جاتا ہے۔ اختلاط کے بعد ، گیس کے بہاؤ کو پھیلاؤ کی بھٹی میں مسلسل انجکشن لگایا جاتا ہے اور ویفر کے چاروں طرف ہوتا ہے ، ڈوپینٹوں کو ویفر کی سطح پر جمع کرتا ہے ، اور پھر سلیکن کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرتا ہے تاکہ ڈوپڈ دھاتیں پیدا کی جاسکیں جو سلیکن میں ہجرت کرتی ہیں۔

اینچنگگیس کا مرکب

اینچنگ پروسیسنگ کی سطح (جیسے دھات کی فلم ، سلیکن آکسائڈ فلم ، وغیرہ) کو فوٹوورسٹ ماسکنگ کے بغیر سبسٹریٹ پر کھڑا کرنا ہے ، جبکہ فوٹوورسٹ ماسکنگ کے ساتھ علاقے کو محفوظ رکھتے ہوئے ، تاکہ سبسٹریٹ سطح پر مطلوبہ امیجنگ پیٹرن کو حاصل کیا جاسکے۔

اینچنگ کے طریقوں میں گیلے کیمیائی اینچنگ اور خشک کیمیائی اینچنگ شامل ہیں۔ خشک کیمیائی اینچنگ میں استعمال ہونے والی گیس کو اینچنگ گیس کہا جاتا ہے۔

اینچنگ گیس عام طور پر فلورائڈ گیس (ہالیڈ) ہوتی ہے ، جیسےکاربن ٹیٹرا فلورائڈ.