ایپیٹیکسیل (ترقی)مخلوط گاs

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں، احتیاط سے منتخب کردہ سبسٹریٹ پر کیمیائی بخارات جمع کرکے مواد کی ایک یا زیادہ تہوں کو اگانے کے لیے استعمال ہونے والی گیس کو ایپیٹیکسیل گیس کہا جاتا ہے۔

عام طور پر استعمال ہونے والی سلیکون ایپیٹیکسیل گیسوں میں شامل ہیں ڈیکلوروسیلین، سلکان ٹیٹرا کلورائیڈ اورسائلین. بنیادی طور پر ایپیٹیکسیل سلکان جمع کرنے، سلکان آکسائیڈ فلم جمع کرنے، سلکان نائٹرائڈ فلم جمع کرنے، شمسی خلیوں اور دیگر فوٹو ریسیپٹرز کے لیے بے ساختہ سلکان فلم جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ ایپیٹیکسی ایک ایسا عمل ہے جس میں سبسٹریٹ کی سطح پر ایک ہی کرسٹل مواد جمع اور اگایا جاتا ہے۔

کیمیائی بخارات کا ذخیرہ (CVD) مخلوط گیس

CVD غیر مستحکم مرکبات کا استعمال کرتے ہوئے گیس فیز کیمیائی تعاملات کے ذریعے بعض عناصر اور مرکبات کو جمع کرنے کا ایک طریقہ ہے، یعنی گیس فیز کیمیائی رد عمل کا استعمال کرتے ہوئے فلم بنانے کا طریقہ۔ بننے والی فلم کی قسم پر منحصر ہے، استعمال ہونے والی کیمیائی بخارات جمع (CVD) گیس بھی مختلف ہے۔

ڈوپنگمخلوط گیس

سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز اور انٹیگریٹڈ سرکٹس کی تیاری میں، کچھ نجاستوں کو سیمی کنڈکٹر مواد میں ڈوپ کیا جاتا ہے تاکہ مواد کو مطلوبہ چالکتا کی قسم اور ریزسٹرس، پی این جنکشن، دفن شدہ تہوں وغیرہ کی تیاری کے لیے ایک خاص مزاحمتی صلاحیت فراہم کی جائے۔ ڈوپنگ کے عمل میں استعمال ہونے والی گیس کو ڈوپنگ گیس کہا جاتا ہے۔

بنیادی طور پر آرسین، فاسفائن، فاسفورس ٹرائی فلورائیڈ، فاسفورس پینٹا فلورائیڈ، آرسینک ٹرائی فلورائیڈ، آرسینک پینٹا فلورائیڈ،بوران ٹرائی فلورائیڈ، diborane، وغیرہ

عام طور پر، ڈوپنگ کا ذریعہ ایک ذریعہ کیبنٹ میں کیریئر گیس (جیسے آرگن اور نائٹروجن) کے ساتھ ملایا جاتا ہے۔ اختلاط کے بعد، گیس کے بہاؤ کو ڈفیوژن فرنس میں لگاتار انجکشن کیا جاتا ہے اور ویفر کو گھیر لیا جاتا ہے، ویفر کی سطح پر ڈوپینٹس جمع ہوتے ہیں، اور پھر سلیکون کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہوئے ڈوپڈ دھاتیں پیدا ہوتی ہیں جو سلیکون میں منتقل ہو جاتی ہیں۔

اینچنگگیس مکسچر

اینچنگ کا مطلب ہے فوٹو ریزسٹ ماسکنگ کے بغیر سبسٹریٹ پر پروسیسنگ سطح (جیسے دھاتی فلم، سلکان آکسائیڈ فلم، وغیرہ) کو ہٹانا، جبکہ فوٹو ریزسٹ ماسکنگ کے ساتھ علاقے کو محفوظ رکھنا، تاکہ سبسٹریٹ کی سطح پر مطلوبہ امیجنگ پیٹرن حاصل کیا جا سکے۔

اینچنگ کے طریقوں میں گیلے کیمیکل اینچنگ اور ڈرائی کیمیکل اینچنگ شامل ہیں۔ خشک کیمیائی اینچنگ میں استعمال ہونے والی گیس کو اینچنگ گیس کہا جاتا ہے۔

اینچنگ گیس عام طور پر فلورائیڈ گیس (ہالائیڈ) ہوتی ہے، جیسےکاربن tetrafluoride، نائٹروجن ٹرائی فلورائڈ، ٹرائی فلورو میتھین، ہیکسا فلورو ایتھین، پرفلووروپروپین، وغیرہ۔